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    Aigtek高壓放大器在靜電懸浮裝置研究中的應(yīng)用

    更新時(shí)間:2025-04-18      瀏覽次數(shù):256

      實(shí)驗(yàn)名稱:靜電懸浮裝置控制算法與懸浮實(shí)驗(yàn)

      研究方向:為了實(shí)現(xiàn)材料樣品的懸浮控制和加熱測溫,靜電懸浮實(shí)驗(yàn)裝置配置了光電傳感器、測溫儀、激光器、CCD相機(jī)、電機(jī)等復(fù)雜的光機(jī)電外圍設(shè)備。并且在實(shí)驗(yàn)過程中還要配置多種工程參數(shù),實(shí)時(shí)采集分析各種科學(xué)數(shù)據(jù),所以采用綜合監(jiān)控軟件集成對流程控制、參數(shù)配置、數(shù)據(jù)存儲和查看等功能,方便用戶操作實(shí)驗(yàn)裝置。

      測試設(shè)備:高壓放大器、光電傳感器、測溫儀、探測器等。


    靜電懸浮位置控制模型


    圖1:靜電懸浮位置控制模型

      實(shí)驗(yàn)過程:

      樣品懸浮位置的穩(wěn)定控制是靜電懸浮的關(guān)鍵技術(shù),懸浮控制過程包括樣品充電、脫離極板和穩(wěn)定懸浮。懸浮控制的難點(diǎn)在于直徑2mm樣品要在間距8mm的極板之間完成懸浮過程,穩(wěn)定懸浮后樣品距離上下極板只有3mm的間距,對位置測量精度要求高。如果不加控制,樣品在10ms的時(shí)間就從下極板撞到上極板,因此懸浮控制的周期要很短。另外,樣品初始懸浮時(shí)受下極板鏡像引力的作用,當(dāng)脫離下極板后會急速上升,增加了控制算法的難度。懸浮控制系統(tǒng)的模型如圖1所示。

      懸浮樣品的位置是被控對象,通過PSD傳感器檢測樣品的當(dāng)前位置作為反饋信號輸入,高壓放大器是控制系統(tǒng)的輸出,高壓放大器作用于上下電極,改變極板間的電場強(qiáng)度,進(jìn)而調(diào)節(jié)樣品的懸浮位置。控制器根據(jù)反饋的當(dāng)前時(shí)刻的位置信號,通過PID運(yùn)算,得到下一時(shí)刻的輸出信號,形成負(fù)反饋的位置控制。

      實(shí)驗(yàn)結(jié)果:


    樣品穩(wěn)定懸浮圖像


    圖2:樣品穩(wěn)定懸浮圖像

      樣品放置于下極板中心位置,系統(tǒng)開始加電后,隨著極板電壓的增大,樣品開始產(chǎn)生微小的顫動(dòng),當(dāng)極板間的電壓繼續(xù)增大,樣品所受庫侖力克服鏡像力的作用,加速向上運(yùn)動(dòng),隨著控制算法調(diào)整極板間的電壓使樣品豎直方向的位置穩(wěn)定后,開啟水平方向的控制,抑制樣品在水平方向的振蕩,樣品最終穩(wěn)定懸浮在上下極板之間,如圖2所示。


    懸浮過程的位置和電壓變化曲線


    圖3:懸浮過程的位置和電壓變化曲線

      懸浮過程的位置和電壓曲線如圖3所示。通過積分分離的方法,減少樣品懸浮初始過程的超調(diào),并且在樣品穩(wěn)定后,改變控制參數(shù),減弱樣品的振蕩。

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    圖:ATA-7025高壓放大器指標(biāo)參數(shù)

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